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1x12,288線陣相位型液晶調(diào)制器

1x12,288線陣相位型液晶調(diào)制器是光束偏轉與印刷系統(tǒng)的理想器件。這一器件運用了基于CMOS技術的標準液晶技術。基于CMOS結構的陣列為實現(xiàn)*進的高分辨率光刻技術提供了有效的工具，由于其像素更小，從而能夠為光束偏轉應用提供更大的偏轉角度。此外，COMS芯片上的電路大大簡化了尋址，隨機存取轉向，任意波前控制等過程。基于CMOS陣列的另一優(yōu)點是其在半導體制造中已經(jīng)實現(xiàn)了規(guī)模經(jīng)濟。
當填充Zero-Twist Nematic（ZTN）液晶的時候，該器件可用作全編程的一維衍射光束偏轉陣列。通過在陣列上下載變階的相位契形圖，即可實現(xiàn)非機械式的光束偏轉，其相當于一個可編程的衍射相位光柵。液晶光束偏轉器的主要優(yōu)點是無機械移動（因此沒有光束指向偏差與不穩(wěn)定的問題），隨機存取指向，通光孔徑足夠大，光學頭輕便并具有大規(guī)模制造以實現(xiàn)低成本的可能。

特點	應用
高光學效率	光束偏轉
無機械移動	衍射光學
安全的低電壓操作	光譜調(diào)諧與處理
高速相位控制	超快脈沖整形
全用戶編程	可編程相位光柵
靈活的系統(tǒng)配置	可編程振幅光柵
安靜低振動操作
全固態(tài)器件結構
即插即用簡易安裝
友好的圖形界面

	Model P12,288 – λ (nm) – PT
Array Size	19.66x19.66mm
Design Wavelength (nominal)	635-1550nm (Specify wavelength, λ in nm when ordering)
Diffraction Efficiency (zero-order)	80 - 95% (maximum)
Duty Cycle	Up to 100%
External Window	Broadband antireflection coated for Ravg<1% (over 450-865nm or 850-1650nm)
Fill Factor	100%
Format	1x12,288
Mode	Reflective
Steering Angle	± 4 - 7°
Modulation	Controllable index of refraction
Phase Levels (resolvable)	50 -100 linear levels (minimum) for 2π phase stroke
Phase Stroke (double-pass)	Typically 2π at user-specified laser line
Pixel Pitch	1.6 μm
Reflected Wavefront Distortion (rms)	λ/10 – λ
Response Time	5 - 30 ms
Spatial Resolution	TBD
Switching Frequency	30 – 200 Hz

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