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品牌	昊量光電	供貨周期	現(xiàn)貨
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

WLI白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo

三豐Mitutoyo新推出具有更高干涉信號(hào)對(duì)比度，可以同時(shí)測(cè)高反射率部分和低反射率部分樣品的白光干涉顯微鏡及物鏡。

白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo特點(diǎn)：

● 實(shí)現(xiàn)非接觸式3D表面形狀測(cè)量和輪廓測(cè)量

可利用白光干涉原理實(shí)現(xiàn)非接觸式高精度細(xì)微表面性狀測(cè)量

（例如：3D形狀測(cè)量、3D粗糙度測(cè)量）

● 不依賴于光學(xué)倍率的高度測(cè)量精度

即使是低倍率鏡頭，也可使用Z向高分辨力進(jìn)行測(cè)量

● 高縱橫比測(cè)量

不依賴于光學(xué)系統(tǒng)的NA進(jìn)行檢測(cè)，支持高縱橫比形狀測(cè)量

● 抗干擾震動(dòng)的高穩(wěn)定性

● 小型輕便

使用一般的WLI系統(tǒng)，測(cè)量不同反射率的產(chǎn)品時(shí)：

當(dāng)視野中包含高反射率和低反射率的部分

　1)配合反射率高的部分調(diào)整光量時(shí)，反射率低的部分會(huì)光量不足。

　2)配合反射率低的部分調(diào)整光量時(shí)，反射率高的部分光量發(fā)生飽和，無(wú)法測(cè)量。

而使用三豐的WLI測(cè)量反射率不同地方的測(cè)量時(shí)，當(dāng)視野中包含反射率高部分和反射率低部分，光量對(duì)準(zhǔn)反射率低的部分，也可測(cè)量反射率高的部分。

白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo產(chǎn)品規(guī)格：

貨號(hào)		554-001	554-002	554-003
產(chǎn)品名稱		WLI-Unit-003	WLI-Unit-005	WLI-Unit-010
WLI-Unit傳感器測(cè)頭	電纜長(zhǎng)度	5
	適用物鏡	WLI Plan Apo系列
	成像倍率	1×
	焦距f（mm）	100
	掃描裝置	物鏡掃描儀
	尺寸/質(zhì)量	108×68×191mm/1.7kg
WLI測(cè)量	Z向移動(dòng)范圍	8000 um
	測(cè)量模式	高通量	標(biāo)準(zhǔn)	高分辨率
	WLI測(cè)量Z向范圍	2100 um	1900 um	1700 um
	通量 @ 20um范圍	3 s	4 s	6 s
	Z向分辨率	-	4 nm
	Z向重復(fù)性	-	40 nm
軟件	WLIPAK	WLI-Unit控制庫(kù)SDK、示例代碼、WLIPAK示例GUI
	WLI-Unit校準(zhǔn)SW	像素校準(zhǔn)
	分析軟件(推薦選件)	MCubeMap
其它	圖像采集卡/PC	Matrox圖像采集卡（標(biāo)配）/另需準(zhǔn)備PC